光谱椭偏软件SpectraRay/4 的设计基于直观的工作流程。因此，SpectraRay/4 包括具有两步动作(开始测量，结果)的测量处方模式和用于逐步数据分析的交互模式。SpectraRay/4 的综合软件包支持广义椭偏，穆勒矩阵，散射法(3D轮廓仪)、各向异性和建模。

建模

测量参数可以模拟作为波长、光子能量、倒数厘米、入射角、时间、温度、薄膜厚度测量和其他参数的函数

自动扫描

我们光谱椭偏仪的自动扫描的选项具有预定义或用户定义的模式、广泛的统计以及数据的图形显示，如2D颜色、灰度、轮廓、+/-偏离平均值和3D绘图。